Waahanga whatu i roto i nga miihini lithography

He maha nga whakamahinga o te hoahoa whatu i roto i te mara semiconductor. I roto i te miihini whakaahua whakaahua, ko te punaha whatu te kawenga mo te arotahi i te kurupae marama e tukuna ana e te puna marama me te tohu ki runga i te angiangi silicon hei whakaatu i te tauira ara iahiko. Na reira, ko te hoahoa me te arotautanga o nga waahanga whatu i roto i te punaha whakaahua whakaahua he huarahi nui hei whakapai ake i te mahi o te miihini whakaahua whakaahua. Ko enei e whai ake nei etahi o nga waahanga whatu e whakamahia ana i roto i nga miihini whakaahua whakaahua:

Whāinga matapae
01 Ko te whäinga matapae he wähanga whatu matua i roto i te miihini lithography, i te nuinga o te waa he raupapa o nga arotahi tae atu ki nga arotahi convex, nga arotahi concave, me nga prisms.
02 Ko tana mahi he whakaheke i te tauira ara iahiko i runga i te kanohi kanohi, ka aro ki te angiangi kua pania ki te photoresist.
03 Ko te tika me te mahi o te whaainga matapae ka whai mana nui ki te whakatau me te kounga atahanga o te miihini lithography.

Whakaata
01 Whakaataka whakamahia hei huri i te ahunga o te marama me te whakatika ki te waahi tika.
02 I roto i nga miihini hiko o te EUV, he mea nui nga whakaata na te mea ka ngawari te uru o te rama EUV ki nga rawa, no reira me whakamahi nga whakaata me te whakaata teitei.
03 Ko te tika o te mata me te pumau o te whakaata ka whai paanga nui ki te mahi o te miihini lithography.

Tātari
01 Ka whakamahia nga whiriwhiringa hei tango i nga roangaru o te marama e kore e hiahiatia, hei whakapai ake i te tika me te kounga o te tukanga whakaahua whakaahua.
02 Ma te whiriwhiri i te tātari e tika ana, ka taea te whakarite ko te marama o te roangaru motuhake anake ka uru ki roto i te miihini lithography, na reira ka pai ake te tika me te pumau o te mahi tuhi.

Prisms me etahi atu waahanga
I tua atu, ka taea ano e te miihini lithography te whakamahi i etahi atu waahanga whatu awhina, penei i te prisms, polarizer, me etahi atu, hei whakatutuki i nga whakaritenga lithography. Ko te whiriwhiringa, te hoahoa me te hanga o enei waahanga whatu me tino whai i nga paerewa hangarau e tika ana me nga whakaritenga hei whakarite i te tino tika me te pai o te miihini lithography.

Hei whakarāpopototanga, ko te tono o nga waahanga whatu i roto i te waahi o nga miihini lithography e whai ana ki te whakapai ake i te mahi me te pai o te whakaputa o nga miihini lithography, na reira ka tautoko i te whanaketanga o te umanga miihini miihini. Na te whanaketanga tonu o te hangarau lithography, ko te arotautanga me te auahatanga o nga waahanga whatu ka nui ake te kaha mo te hanga maramara o muri mai.

Mo etahi atu mohiotanga me nga tohutohu tohunga, tirohia to maatau paetukutuku ihttps://www.jiujonoptics.com/ki te ako atu mo o maatau hua me o otinga.