He maha nga momo tono a te hoahoa i roto i te mara semiconductor. I roto i te miihini Photolidrithigy, ko te punaha optical te kawenga mo te aro ki te maarama marama i tukuna e te maarama marama me te whakaputa i te kaihoroi ki te whakaatu i te tauira aratohu. Na reira, ko te hoahoa me te arotautanga o nga waahanga optical i roto i te punaha whakaahua whakaahua he huarahi nui hei whakapai ake i te mahinga o te miihini whakaahua whakaahua. Ko nga mea e whai ake nei ko etahi o nga waahanga taapiri e whakamahia ana i roto i nga miihini whakaahua whakaahua:
Te whaainga take
01 Ko te whaainga whaanui he waahanga nui i roto i te miihini ngawari, ko te nuinga o te waa tae atu ki nga arotahi congux, nga arotahi arai, me nga taonga.
02 Ko tana mahi ko te whakaheke i te tauira aratohu i te kanohi kanohi, ka aro ki te taha o te hunga e pa ana ki te kaiwhakatakoto whakaahua.
03 Ko te tika me te mahinga o te whaainga tuuturu he awe nui ki te whakataunga me te whakaatu i te kounga o te miihini lithigraph
Whakaata
01 Whakaatae whakamahia ana hei whakarereke i te ahunga o te maama me te arahi ki te waahi tika.
02 I roto i nga miihini o te Euv, nga whakaata he mea nui na te mea ka ngawari te uru atu ki nga taonga o Euv i nga taonga, na me nga whakaata teitei me whakamahi te tino whakaata.
03 Ko te tika o te mata me te pumau o te kaiwhakamaori he tino paanga ki te mahinga o te miihini lithograph.
Whiriwhiringa
01 Ko nga whiriwhiringa e whakamahia ana hei tango i te roa o te marama, te whakapai ake i te tika me te kounga o te kaupapa whakaahua.
02 ma te kowhiri i te tātari tika, ka taea te whakarite ko te maama noa o te maarama e uru ana ki te miihini lithigraph, na reira ka pai ake te tika me te pumau o te mahi ngawari.
Prism me etahi atu waahanga
I tua atu, ka taea pea e te miihini lithograwry etahi atu waahanga kaimekemeke, penei i nga prism, polizizers, me era atu, hei whakatutuki i nga whakaritenga kaute motuhake. Ko te kowhiringa, te hoahoa me te hanga i enei waahanga optical me whai i nga paerewa hangarau me nga whakaritenga hangarau e tika ana kia pai ai te whakatikatika me te kaha o te miihini lithographi.
Hei whakarāpopototanga, ko te tono o nga waahanga taapiri i te mara o nga miihini litography e whai ana ki te whakapai ake i nga mahi me nga hua o nga miihini lithographnograph, na reira e tautoko ana i te whanaketanga o te umanga miihini Microelectronics. Ma te whanaketanga tonu o te hangarau maramarama, ko te arotautanga me te auaha o nga waahanga reptical ka kaha ake te hanga o nga maramara whakatipuranga-a-whakatupuranga.
Mo etahi atu tirohanga me nga tohutohu tohunga, tirohia to maatau paetukutuku ihttps://www.jiujonoptics.com/Ki te ako atu mo o maatau hua me o maatau otinga.
Te wa tuku: Jan-02-2025
